特許

J-GLOBAL ID：200903000864692406

曲面又は扇状エンド・マグネットを持つ回転式マグネトロン

発明者： レハン ジョン ピー ,  バイリューム ヘンリー
出願人/特許権者： ザ ビーオーシー グループ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521825
公開番号（公開出願番号）：特表平10-512326
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】円筒型マグネトロン用の磁性装置のレーストラック(11)のエンド部(12)が、エンド部での円筒型ターゲットのエロージョンを低減するために放物線状、長円形状、三角形状になるよう設計されている。これによって、レーストラックのエンド部で磁場をそれほど弱める必要が無くなりマグネトロンの作動能率が維持できる。

請求項（抜粋）：

回転自在の円筒型ターゲットと、回転自在の円筒型ターゲットの中に位置する第1極性の長く伸びた中央マグネット部と、回転自在の円筒型ターゲットの中に位置し、且つ外側マグネット部と長く伸びた中央マグネット部の間の間隙が規定されるように中央マグネット部の周りに配列された第2極性の外側マグネット部とから成る円筒型マグネトロンであって、長く伸びた中央マグネット部と外側マグネット部とが中央領域の周りにレーストラック状のプラズマを閉じこめるための磁場を規定し、そのレーストラックが非プラズマ中央領域を囲む内縁及び外縁とを規定し、その内縁と外縁とが円筒型ターゲットにあり、レーストラックがほぼ平行な脚部とほぼ放物線状のエンド部を有することを特徴とする円筒型マグネトロン。