特許
J-GLOBAL ID：200903000867906776
プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331988
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171900
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】本発明は、プラズマの活性種密度を広い面積において均一にかつ高くする。【解決手段】プラズマチャンバ1内にマイクロ波導入窓3を通してマイクロ波を導入し、プラズマチャンバ1内に封入された媒質ガスを励起してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、マイクロ波導入窓3に隣接したプラズマチャンバ1の内壁に誘電体30を取り付けた。
請求項（抜粋）：
反応容器内にマイクロ波導入窓を通してマイクロ波を導入し、前記反応容器内に封入された媒質ガスを励起してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、少なくとも前記マイクロ波導入窓の近傍に前記反応容器の内壁に誘電体を取り付けたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
H05H 1/46 B
, C23F 4/00 D
, H01L 21/302 B
