特許
J-GLOBAL ID：200903000870875172
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072151
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275771
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 ノズルと基板との対向間隔の制御を、両者を水平方向に相対移動させる制御に対し独立させることにより、基板上に所望形状の複数のペーストパターンを同時に高精度に、しかも高速に塗布描画できるペースト塗布機を提供する。【構成】 ノズル1a,1bと、これら各ノズルの吐出口と基板7の表面との対向間隔を個別に計測する光学式距離計3a,3bと、主制御装置14aに制御されて各ノズルと基板7とを水平方向に相対的に移動させるテーブル6,8と、この相対的移動時における各距離計3a,3bのデ-タを用いて各ノズルの吐出口と基板7の表面との対向間隔を個別に制御する副制御装置14bとを備えた。
請求項（抜粋）：
ノズルのペースト吐出口と対向するように基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に収納したペーストを上記吐出口から上記基板上へ吐出させながら上記ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペースト塗布機において、複数のノズルと、これら各ノズルのペースト吐出口と上記基板の表面との対向間隔を個別に計測する複数の計測手段と、上記各ノズルと上記基板とを水平方向に相対的に移動させる移動手段と、この相対的移動時における上記各計測手段の計測デ-タを用いて上記各ノズルのペースト吐出口と上記基板の表面との対向間隔を個別に制御する制御手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (2件)：
B05C 5/00
, B05C 5/00 101
