特許
J-GLOBAL ID:200903000875650250
窒化珪素-炭化珪素系反応焼結体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-356291
公開番号(公開出願番号):特開平6-183840
出願日: 1992年12月21日
公開日(公表日): 1994年07月05日
要約:
【要約】【目的】 常温及び高温を通じて十分な強度を有し、特に高温強度に優れる窒化珪素-炭化珪素系反応焼結体を提供する。【構成】 5〜40重量部の炭化珪素粉末と残部を占めるシリコン粉末とからなる配合粉末100重量部に対して、周期律表Va及びVIa族元素化合物のうちの1種以上よりなる焼結助剤を0.3〜10重量部の割合にて添加し混合し、その後これらの原料混合粉末を所定形状に成形し、更に窒化雰囲気中で反応焼結させて製造され、気孔率が30%以下であることを特徴とする。また、上記炭化珪素粉末の平均粒径は20μm以下とするのが好ましい。更に、この窒化珪素-炭化珪素系反応焼結体の室温下における曲げ強度は300MPa以上、1400°Cにおける曲げ強度は400MPa以上とすることができる。
請求項(抜粋):
5〜40重量部の炭化珪素粉末と残部を占めるシリコン粉末とからなる配合粉末100重量部に対して、周期律表Va及びVIa族元素化合物のうちの1種以上よりなる焼結助剤を0.3〜10重量部の割合にて添加し混合し、その後、これらの原料混合粉末を所定形状に成形し、更に、窒化雰囲気中で反応焼結させて製造され、気孔率が30%以下であることを特徴とする窒化珪素-炭化珪素系反応焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/58 102
, C04B 35/58
, C04B 35/56 101
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭63-030366
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特開昭63-277576
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