エアフィルタの取付方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水善▲廣▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224632
公開番号（公開出願番号）：特開平8-103614
出願日： 1995年08月09日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【課題】取り付け、取り外し作業が簡単に行え、且つ、気密性の高いエアフィルタの取り付け方法を提供する。【解決手段】エアフィルタのフィルタ枠をチャンバーの空気吹き出し口にガスケットを介して圧着固定するエアフィルタの取り付け方法であって、前記ガスケットとして芯材の両面に粘弾性シール剤層を備えたガスケットを用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

エアフィルタのフィルタ枠をチャンバーの空気吹き出し口にガスケットを介して圧着固定するエアフィルタの取り付け方法であって、前記ガスケットとして芯材の両面に粘弾性シール材層を備えたガスケットを用いることを特徴とするエアフィルタの取付方法。

IPC (2件)：

B01D 46/00 , B01D 46/10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-213282
特開昭59-193112
特開昭61-213282

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