特許

J-GLOBAL ID：200903000904760507

電界効果型トランジスタ

発明者： 宇田 尚典 ,  澤井 徹郎 ,  西田 昌生 ,  平井 利和 ,  原田 八十雄
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078678
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 夫々櫛状に形成され、互いに一方の櫛歯状電極部を他方の櫛歯状電極部間の間隙内に配置させて組み合わせたソース電極とドレイン電極との間の電圧による結合を遮断する。【構成】 ソース電極1における櫛歯状電極部1bの先端とこれを位置させてあるドレイン電極2の間隙2cの内奥端との間の距離、及びドレイン電極2における櫛歯状電極部2bの先端とこれを位置させてあるソース電極1の間隙1cの内奥端との間の距離を夫々20μm以上とする。

請求項（抜粋）：

複数の電極部を所定の間隔を隔てて複数個平行に並設してなる櫛歯状部分を備えたソース電極とドレイン電極とを、向かい合わせにしてその一方の電極における各櫛歯状電極部を、他の電極における櫛歯状電極部間内にこれと非接触の状態で配置して組合わせた構造を有する電界効果型トランジスタにおいて、前記各櫛歯状電極部の先端と、これが配置されている櫛歯状電極部間の間隙の内奥端との間の距離を20μm以上としたことを特徴とする電界効果型トランジスタ。

IPC (3件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3205

FI (2件)：

H01L 29/78 301 J ,  H01L 21/88 Z