特許

J-GLOBAL ID：200903000907556471

洗浄装置

発明者： 鬼頭 綱範 ,  桶谷 大亥 ,  荒木 啓之 ,  青山 泰隆
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317489
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163344
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 ペリクル膜を破損することなく付着したゴミを効率よく除去する洗浄装置を提供する。【構成】 ハウジング12の搬送口12aから搬送アーム17に固定されたレチクル31が搬入される。ハウジング12の内部にレチクル31の表面に近接して設けられるエアーナイフ14から窒素(N2)ガスが、前記レチクル31の表面に向けて均一に噴射され、レチクル31の表面に配置されたペリクル膜32に付着したゴミが除去される。さらに、ハウジング12の内部に形成された排気口13から窒素(N2)ガスとともに除去されたゴミが排出される。したがって、ペリクル膜32に付着したゴミを効率よく、かつペリクル膜32を破損することなく除去することができる。

請求項（抜粋）：

一側壁面に開口部が形成されたハウジングと、透光性材料から成る基板の表面に遮光性材料で配線パターンが形成され、透光性を有する保護膜が表面から間隔をあけて形成されるレチクルを、前記開口部からハウジング内に搬入および搬出する搬送手段と、前記ハウジング内に搬入されたレチクルの少なくとも一方表面に近接して設けられ、該表面に対して気体流を噴出する気体流噴出手段とを含むことを特徴とする洗浄装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B08B 5/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/304 341