特許

J-GLOBAL ID：200903000913319317

金属酸化物薄膜およびアレイ状金属酸化物機能性素子の製造法

発明者： 北岡 賢治
出願人/特許権者： ミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-271225
公開番号（公開出願番号）：特開2000-034575
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 ゾル・ゲル法による金属酸化物薄膜の従来の製造法の問題点を解決し、緻密性の高い高品質の金属酸化物薄膜および金属酸化物機能性素子を提供する。【解決手段】 (i)金属有機化合物含有原料を溶剤に分散させて調製したゾルを薄膜状に流延させてゲル膜を形成させ、(ii)該ゲル膜を0.2MPa以上で100〜400°Cにおいて水蒸気含有雰囲気中で処理し、次いで(iii)該処理膜を200〜400°Cの熱処理に付す工程を含む金属酸化物薄膜の製造法および該ゾル-ゲル法を利用するアレイ状金属酸化物機能性素子の製造法。

請求項（抜粋）：

(i)金属有機化合物含有原料を溶剤に分散させて調製したゾルを薄膜状に流延させてゲル膜を形成させ、(ii)該ゲル膜を0.2MPa以上の圧力下で100〜400°Cにおいて水蒸気含有雰囲気中で処理し、次いで(iii)該処理膜を200〜400°Cの熱処理に付す工程を含む金属酸化物薄膜の製造法。

IPC (4件)：

C23C 22/00 ,  G02F 1/055 505 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

C23C 22/00 Z ,  G02F 1/055 505 ,  H01L 41/08 V ,  H01L 41/22 Z

Fターム (5件)：

2H079CA22 ,  2H079DA03 ,  2H079DA22 ,  2H079EA03 ,  2H079EA09