複屈折板およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297400
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132768
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【目的】複屈折性が高く、機械強度に優れた複屈折板を安価に実現する。【構成】透明基板1の表面に対して40〜80度傾いた方向から蒸発物質を飛来させるように透明基板表面と蒸発源3の位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜2を所望の膜厚に形成する。

請求項（抜粋）：

透明基板表面に対して40〜80度傾いた方向から蒸発物質を飛来させるように透明基板表面と蒸発源の位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜を所望の膜厚に形成することを特徴とする複屈折板の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/32 , C23C 14/08 , G02B 5/30

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭63-132201
特開昭63-132203
特開昭63-312970

全件表示

前のページに戻る