特許
J-GLOBAL ID:200903000914238990

半導体テストシステムの自動校正装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-353609
公開番号(公開出願番号):特開平9-184871
出願日: 1995年12月28日
公開日(公表日): 1997年07月15日
要約:
【要約】【課題】 半導体テストシステムにおいて、DUT33の周辺回路21による入出力信号の誤差の補正や動作確認を行うのに適した自動校正装置を提供する。【解決手段】 デバイスプログラムとリンクした、テーブル形式のツールにより、試験条件の設定に対応した周辺回路21の変更状態をキャリブレーションデータとして取り込んで、ACモジュール60の信号設定データを補正し、周辺回路21を含めた誤差の補正や周辺回路21での動作確認を自動で行う。
請求項1:
周辺回路を有するデバイスの半導体試験装置において、キャリブレーションの内容設定ができる条件設定手段を設け、周辺回路(21)と被測定デバイスのDUT(33)との間に、切り換え手段を設け、該切り換え手段により前記周辺回路(21)の出力を受けて測定する測定手段を設け、ACモジュール(60)の出力が前記周辺回路(21)を介して得られる期待値のデータと前記測定手段との測定データとを受けて、誤差補正データを演算する演算部(70)を設け、該演算部(70)で演算した誤差補正データを、リレー制御レジスタ(50)に対応するアドレスに格納する補正データメモリ(80)を設け、前記リレー制御レジスタ(50)からのデータ出力により前記補正データメモリ(80)に格納された誤差補正データを選択して、前記ACモジュール(60)の設定データを補正することにより、周辺回路(21)の状態の変化を含めたキャリブレーションがおこなえることを特徴とした半導体テストシステムの自動校正装置。
引用特許:
出願人引用 (10件)
  • 特開昭61-225671
  • IC試験装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-053866   出願人:株式会社アドバンテスト
  • 直流特性測定装置のキャリブレーション方式
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-186713   出願人:株式会社日立製作所, 日立コンピュータエンジニアリング株式会社
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審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-225671

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