特許
J-GLOBAL ID：200903000916116034
除振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-361541
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042582
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：
【要約】【目的】 除振台床板を設置床より磁気力により浮上懸架する、除振帯域の広い除振装置を提供する。【構成】 除振台床板(1)に固定された磁性体(5)と、該磁性体(5)を磁気力によって非接触支持する設置床(2)側に固定された浮上用電磁石(4)と、除振台床板に固定された磁性体(5)と設置床側に固定された浮上用電磁石(4)との空隙における相対変位を検出する変位センサ(8)と、該変位センサ(8)の信号により除振台床板を浮上させるため該電磁石を制御する制御回路と、除振台床板(1)に固定された振動センサ(6)と、該振動センサ(6)の信号から除振台床板の振動を除振制御する除振用電磁石(7)とからなり、除振台床板に固定された磁性体(5)の磁極面が設置床側に固定された浮上用電磁石(4)の磁極面よりも大きくなっていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
除振台床板に固定された磁性体と、該磁性体を磁気力によって非接触支持する設置床側に固定された浮上用電磁石と、除振台床板に固定された磁性体と設置床側に固定された浮上用電磁石との空隙における相対変位を検出する変位センサと、該変位センサの信号により除振台床板を浮上させるため該電磁石を制御する制御回路と、除振台床板に固定された振動センサと、該振動センサの信号から除振台床板の振動を除振制御する除振用電磁石とからなり、除振台床板に固定された磁性体の磁極面が設置床側に固定された浮上用電磁石の磁極面よりも大きくなっていることを特徴とする除振装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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