特許
J-GLOBAL ID:200903000916504581

超低温での零シフト非線形性を補償する圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-547860
公開番号(公開出願番号):特表2001-527652
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2001年12月25日
要約:
【要約】超低温におけるブリッジの零ドリフトの非線形性を補償するために、ブリッジ(10)のアームの少なくとも一つの歪ゲージを、歪ゲージよりも抵抗がかなり小さい抵抗器(c)、例えば接続リードと直列に配設し、補償回路は、超低温域において、一部を形成する並列回路の抵抗に影響を及ぼし、温度に敏感で温度が低下するにつれて増大するように温度の関数として抵抗が変化する抵抗素子、例えばプラチナプローブ(P)を有している。
請求項(抜粋):
ホイートストンブリッジ(10)のそれぞれのアームに取り付けられた歪ゲージ(J1〜J4)と、ブリッジの零ドリフトを温度の関数として補償する手段とを有する圧力センサであって、 超低温における零ドリフトの非線形性を補償するために、ブリッジ(10)のアームの少なくとも一つの歪ゲージを、歪ゲージよりも抵抗がかなり小さく補償回路と並列に接続された抵抗器(c)と直列に配設し、補償回路は、その一部を形成する並列回路の抵抗に影響を及ぼし、超低温域で温度が低下するにつれて増大するように温度の関数として抵抗が変化する抵抗素子を有することを特徴とする圧力センサ。
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特開昭62-229040
  • 特開平4-131721
  • 特開平4-031724
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審査官引用 (3件)
  • 特開昭62-229040
  • 特開平4-131721
  • 特開平4-031724

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