特許

J-GLOBAL ID：200903000918848342

イオンプレ-ティング装置

発明者： 関口 毅 ,  内野 周三 ,  影近 博 ,  木部 洋
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社 ,  中外炉工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-073131
公開番号（公開出願番号）：特開平6-173002
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】異常放電を防止し金属帯板に効率良く被膜を形成する。【構成】処理前のコイルから処理後のコイルまで連続してつながった金属帯板1の全体を真空容器4内に収納する。金属帯板1と真空容器4とを電気的に絶縁し、真空容器4と蒸着源12とをア-ス電位とし、金属帯板1にア-ス電位より負の電位を加えて異常放電発生源となり得る陰極を金属帯板1に限定する。真空容器4内の圧力を1×1/102ト-ル未満に下げて、真空容器4内における異常放電を抑制する。

請求項（抜粋）：

真空中で金属帯板に連続的に蒸着物質を射突させて被膜を形成するイオンプレ-ティング装置において、処理前の金属帯板を送り出す送出リ-ルから処理後の金属帯板を巻取る巻取リ-ルまでを電気的に絶縁して収納し、圧力を原則として1×1/102ト-ル未満に下げた真空容器と、真空容器と蒸発源とをア-ス電位とし、金属帯板にア-ス電位より負の電位を加えて蒸着処理を行なうバイアス電源とを備えたことを特徴とするイオンプレ-ティング装置。

IPC (2件)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-088982
  
• 特開平4-034232
  
• 特開昭57-184760