特許
J-GLOBAL ID:200903000919772269

光電測長または測角装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江崎 光史 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-145025
公開番号(公開出願番号):特開平7-146160
出願日: 1994年06月27日
公開日(公表日): 1995年06月06日
要約:
【要約】【目的】 走査信号中の高調波を除去し、これにより高い測定精度を保証する、簡単な構成の光電測長または測角装置を提供する。【構成】 目盛板3を照明する帯状発光光源1を設け、目盛板3で変調された光が走査板2で正弦波状の走査信号を変換する。走査板2は帯状にパターン化された半導体基板である。光源1の発光領域61の幅Aとその間にある領域6の幅Bは走査信号から特定の高調波が濾波されるように設計されている。他の高調波が抑制されるように走査板2のパターン形状が設計されている。
請求項(抜粋):
測定方向に間隔を設けて配置された多数の発光領域を有する半導体光源と、少なくとも一つの位置に依存する走査信号を発生するため、測定方向に間隔を設けて配置された多数の帯状受光領域を有する走査板とから成り、互いに相対的に移動する格子の位置を求める光電測長または測角装置において、走査信号の所定次数の高調波を抑制するように、発光領域(61,18)の形状が設計さていて、他の次数の高調波が抑制されるように、帯状の受光領域(141,171,19)の形状が設計されていることを特徴とする光電測長または測角装置。
IPC (3件):
G01D 5/36 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/26

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