特許
J-GLOBAL ID：200903000934057312
部品搭載機構および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320926
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150296
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 電子部品を基板上に平行に搭載することができる部品搭載機構を提供する。【解決手段】 電子部品11を保持し基板12への搭載を行う搭載ヘッド1と、搭載ヘッド1を駆動する搭載ヘッド駆動部2と、基板12を保持する基板ステージ3と、搭載ヘッド1により基板ステージ3に印加される圧力を検出する圧電素子4,5,6と、圧電素子4,5,6からの信号により搭載ヘッド1と基板ステージ3との相対的な傾きを計算する傾き演算部7と、基板ステージ3を傾動させるあおりステージ8と、傾き演算部7からの傾き計測結果によりあおりステージ8を駆動するあおりステージ駆動部10により構成される。搭載ヘッド1を基板ステージ3に所定の圧力で押しつけ、この時の基板ステージ3の各部の圧力値を圧電素子4,5,6によって検出し、その検出値に応じてあおりステージ8を傾動させて搭載ヘッド1と基板ステージ3との相対的な傾きを補正する。
請求項（抜粋）：
電子部品を保持して基板へ搭載する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを駆動する搭載ヘッド駆動手段と、前記基板を保持する基板ステージと、前記搭載ヘッドにより前記基板ステージに印加される圧力を複数箇所において検出する検出手段と、前記検出手段からの信号により前記基板ステージと前記搭載ヘッドとの相対的な傾きを計算する傾き演算手段と、前記基板ステージまたは前記搭載ヘッドを傾動させる傾動手段とを備え、前記傾き演算手段からの傾き計測結果に応じて前記基板ステージと前記搭載ヘッドとの相対的な傾きを調整することを特徴とする部品搭載機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K 13/04 M
, H01L 21/52 F
