特許

J-GLOBAL ID：200903000935536524

ガスセンサ素子およびガスセンサ

発明者： 宇野 克彦 ,  牧 正雄 ,  丹羽 孝 ,  鶴田 邦弘 ,  梅田 孝裕 ,  中谷 直史 ,  渋谷 誠 ,  両角 英樹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-121128
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310982
出願日： 2001年04月19日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 電池電源で感応部温度を正確に設定し、安定な出力が得られるガスセンサを提供する。【解決手段】 低熱伝導率の基板12上に形成されたヒータ13と、基板12上のヒータ13に近接して設けられた抵抗体14と、ヒータ13上に形成された絶縁膜15と、絶縁膜15上に積層された感応部16と、感応部16上に形成された検出電極からガスセンサ素子を構成し、ヒータ回路23をパルス的に駆動させて抵抗体14で感応部16温度を正確に設定し、検出電極17電位差を検出するので電池駆動で安定した出力を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたヒータと、前記基板上に前記ヒータに近接して設けられた抵抗体と、前記ヒータ上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に積層された感応部と、前記感応部上に形成された検出電極からなるガスセンサ素子。

IPC (2件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/409

FI (3件)：

G01N 27/46 371 Z ,  G01N 27/58 B ,  G01N 27/46 371 G

Fターム (6件)：

2G004BB04 ,  2G004BF07 ,  2G004BJ03 ,  2G004BJ10 ,  2G004BM07 ,  2G004BM10