特許
J-GLOBAL ID:200903000940551841
全反射減衰を利用したセンサー
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-392955
公開番号(公開出願番号):特開2002-195944
出願日: 2000年12月25日
公開日(公表日): 2002年07月10日
要約:
【要約】【課題】 光ビームに含まれるコヒーレントノイズ等による細かいノイズの影響を受けず、高いS/Nで表面プラズモン共鳴信号を測定する。【解決手段】 誘電体ブロック10と、その一面に形成された薄膜層12と、光ビーム13を誘電体ブロック10に対して、該ブロック10と薄膜層12との界面10bで全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系15と、上記界面10bにおいて全反射した光ビームを検出するアレイ状光検出手段17とを備えた全反射減衰を利用したセンサーにおいて、光ビーム13の、界面10bから光検出手段17に至る光路上に拡散板27を配する。光ビーム13は拡散板27で拡散されることにより、該光ビーム13に含まれる細かいノイズが平均化され、光検出手段17において受光される強度分布への影響が除去される。
請求項(抜粋):
誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、全反射減衰の状態を検知する光検出手段と、前記界面で反射した光ビームの前記光検出手段に至る光路上に配された、該光ビームを拡散させる拡散板とを備えてなることを特徴とする全反射減衰を利用したセンサー。
Fターム (24件):
2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059FF04
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ17
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ26
, 2G059KK02
, 2G059KK03
, 2G059KK04
, 2G059LL04
, 2G059MM01
, 2G059MM03
, 2G059MM09
, 2G059MM11
, 2G059PP04
引用特許:
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