特許
J-GLOBAL ID:200903000942563219

位置合わせ方法、位置合わせ装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置及び電子機器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-124245
公開番号(公開出願番号):特開2005-308979
出願日: 2004年04月20日
公開日(公表日): 2005年11月04日
要約:
【課題】 登録画像と撮像された画像との明暗のコントラストやアライメントマークの形状が異なる場合であっても、人手を要することなくアライメントマークを認識して位置情報を取得することができる位置合わせ方法、位置合わせ装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置及びこれらの方法・装置により製造された電気光学装置を搭載した電子機器を提供すること。【解決手段】 カメラ画像が基本パターン画像9aと一致しないと判断されたときには、自動的に類似パターン画像9bを選択しカメラ画像と一致するかどうかの判断を行うようにしたので、処理が停止することはない。これにより、人手を要することなくアライメントマークMをマッチングして位置情報を取得することができる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
電気光学装置に用いられる部材に形成されたアライメントマークを撮像する撮像ステップと、 複数登録された比較用マークから選択した比較用マークが前記撮像されたアライメントマークと一致するかどうか判断し、一致しないと判断された場合は前記登録された比較用マークのうち選択されなかった比較用マークから適宜選択して一致するかどうかを判断する判断ステップと、 前記比較用マークが前記撮像されたアライメントマークと一致すると判断されたときに、前記アライメントマークの位置情報を取得する位置情報取得ステップと、 前記取得された位置情報に基づき前記部材の位置合わせを行う位置合わせステップと を具備することを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (3件):
G02F1/13 ,  G02F1/1345 ,  G09F9/00
FI (3件):
G02F1/13 101 ,  G02F1/1345 ,  G09F9/00 338
Fターム (17件):
2H088FA01 ,  2H088FA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA06 ,  2H088MA20 ,  2H092GA57 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  5G435AA17 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 部品実装装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-098357   出願人:芝浦メカトロニクス株式会社
審査官引用 (3件)

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