特許
J-GLOBAL ID：200903000944089239
導波路型イメージセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083313
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284159
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 導波路クラッド7に入り込んだ不要光もしくは漏光8が光電変換素子アレイ5に入り込むことを防止し、SN比のよい高解像度で、構造が簡単で作製の容易な導波路型イメージセンサを提供すること。【解決手段】 導波路アレイ4と光電変換素子アレイ5とを光学的に組み合わせた導波路型イメージセンサにおいて、該導波路アレイ4の入力端と出力端との間に屈曲9を持たせた。したがって、導波路クラッド7に入り込んだ迷光などの不要光8は、屈曲部9にて外部の空気中に出てしまい、導波路コア6中の光は光電変換素子アレイ5に到達する。それゆえSN比が高くなり、解像度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
導波路アレイと光電変換素子アレイとを光学的に組み合わせた導波路型イメージセンサにおいて、前記導波路アレイの入力端と出力端との間に屈曲を持たせ、前記導波路アレイの光入力部のクラッド表面の延長面の外に前記光電変換素子アレイを設けたことを特徴とする導波路型イメージセンサ。
IPC (4件)：
H01L 27/14
, G02B 6/122
, G02B 6/42
, H01L 31/0232
H01L 27/14 D
, G02B 6/42
, G02B 6/12 A
, H01L 31/02 D
