特許
J-GLOBAL ID：200903000951475780
粒子計数方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334099
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180280
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【構成】パルスレーザ1からのレーザパルス2はビームスプリッタ3で分割し、一方のパルスはレンズ4を通して測定セル5に入射し、測定試料6内で集光する。他方のパルスは同様に参照セル9に入射し、参照試料10内で集光する。両セルで生ずるプラズマ発光はそれぞれ光検出器11で受光し、測定回路12により発光強度を測定する。【効果】レーザパルス出力密度の揺らぎを定量化できるので、レーザパルス出力密度のモニタ及び補正機構を特別に付加することなく、測定試料からのプラズマ発光の計数率から粒子濃度を高精度で算出できる。
請求項（抜粋）：
レーザパルスにより粒子を核とするプラズマを生成し、プラズマ発光を検出して粒子計数するレーザブレイクダウン法において、前記レーザパルスを分割して一方のパルスを測定試料に照射して前記測定試料中の粒子を計数し、他方のパルスを参照試料に照射してプラズマ発光を検出して前記レーザパルスの出力密度の時間的空間的分布の揺らぎに起因する粒子検出感度の変動を補正することを特徴とする粒子計数方法。
IPC (2件)：
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