特許

J-GLOBAL ID：200903000958979407

レーザ蒸着装置

発明者： 高柳 登 ,  秋浜 一弘
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-212311
公開番号（公開出願番号）：特開平5-051731
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 レーザ光入射窓への蒸発粒子の付着が少なく、蒸着被膜へのパージガスの混入の少ないレーザ蒸着装置。【構成】 レーザ光が透過する透過孔を有するパージガス噴射室を入射窓を取り囲んで設け、パルスレーザと同期してパージガスを噴射すると共に、レーザ光が透過する透過孔とパージガス排気装置とを具備した中間室をパージガス噴射室と蒸着室の間に設けた。中間室の透過孔を通過し、入射窓の方向へ飛来した蒸発粒子はパージガス噴射室の透過孔から侵入しようとするが、パージガス噴射室へはパージガス噴射装置からパルスレーザのパルスに同期して、パージガスが噴射され透過孔からパージガスの気流が流出するので、蒸発粒子が透過孔から侵入するのが最小限のパージガスにより阻止される。また、その間中間室へ流入したパージガスはガス排気装置により排気されるので、パージガスが蒸着被膜に混入することが防止される。

請求項（抜粋）：

側面に入射窓を設け内部にターゲットとそれに相対向して基板が設置される蒸着室と、前記入射窓を介して前記蒸着室内に設置された前記ターゲットにレーザ光を照射するレーザ発生装置とからなるレーザ蒸着装置において、前記入射窓を取り囲んで前記蒸着室側に設けられたパージガス噴射室と、前記パージガス噴射室に設けられ前記入射窓を透過した前記レーザ光が透過する透過孔と、前記レーザ発生装置のパルスレーザと同期して前記パージガス噴射室にパージガスの噴射を行うパージガス噴射装置と、前記パージガス噴射室と前記蒸着室の間に設けられた中間室と、前記中間室に取り付けられたパージガス排気装置と、前記中間室に設けられ前記レーザ光が透過する透過孔とを取り付けたことを特徴とするレーザ蒸着装置。