特許

J-GLOBAL ID：200903000959869052

露光装置の製造方法、光源ユニット、露光装置、露光方法及び露光装置の調整方法

発明者： 竹中 修二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133045
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335937
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】ユーザの既存資産である水銀ランプなどの光源を用いた露光装置に固体光源の使用を可能にする。【解決手段】コンデンサ光学系を含む照明光学系を用いてマスクを照明して、前記マスクのパターンを感光性基板に転写する露光装置の製造方法において、複数の固体光源を前記コンデンサ光学系の前側焦点位置又はそれと光学的に共役な位置に配置する固体光源配置工程(S11)と、前記複数の固体光源とは別の光源に対して適切となる第1状態に設定された前記照明光学系の特性を、前記複数の固体光源の配置によって適切となる第2状態の特性に設定する調整工程(S12〜S16)とを含む。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

コンデンサ光学系を含む照明光学系を用いてマスクを照明して、前記マスクのパターンを感光性基板に転写する露光装置の製造方法において、 複数の固体光源を前記コンデンサ光学系の前側焦点位置又はそれと光学的に共役な位置に配置する固体光源配置工程と、 前記複数の固体光源とは別の光源に対して適切となる第1状態に設定された前記照明光学系の特性を、前記複数の固体光源の配置によって適切となる第2状態の特性に設定する調整工程と を含むことを特徴とする露光装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 516C

Fターム (18件)：

2H097CA12 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA20 ,  5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12