特許

J-GLOBAL ID：200903000964017498

誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法

発明者： 小牧 久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-220173
公開番号（公開出願番号）：特開平5-242995
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 水冷構造であっても上下フランジの間に高電圧を印加し、着実にプラズマの着火を行うことができる誘導プラズマ装置を実現する。【構成】 内管5内部にアルゴンガスを供給した上、制御装置21からの制御信号によってバルブ16を閉じ、バルブ18を開く。この時、バルブ20は開けられている。この結果、内管5と外管6との間の冷却水は、圧縮ガスによって短時間に冷却水排出孔9,排出管19を通って排出され、内管5と外管6との間の空間には、冷却水がなくなる。この状態で高圧発生装置11から上下フランジ1,2の間に高電圧を印加し、更に、高周波電源からRFコイル10に高周波を印加し、内管5内部にプラズマを発生させる。この時、フランジ1と2との間には、冷却水が存在していないので、上下フランジ間の絶縁性は極めて優れた状態となっており、トーチ内部のアルゴンガスの励起を行い、プラズマの着火を行うことができる。

請求項（抜粋）：

絶縁性物質で形成された二重管の周囲に巻回されたRFコイルに励磁電流を流して該管内部に誘導プラズマを発生させると共に、二重管の間に冷却水を流すようにした誘導プラズマ発生装置において、前記二重管の両端部に配置されたフランジ間に高電圧を印加する高圧発生装置を設け、前記二重管の冷却水を排出した状態で前記高圧発生装置からの高電圧を両フランジ間に印加し、プラズマの着火を行うようにしたことを特徴とする誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法。