特許

J-GLOBAL ID：200903000969286721

変形可能ミラーデバイスの製造方法

発明者： 横山 修 ,  跡部 光朗
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302186
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142753
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 光を遮る構造がない、圧電薄膜を用いた変形可能ミラーデバイスを製造する。【解決手段】 Si基板300上に共通電極膜108、圧電膜107および画素電極膜106を形成したミラー基板を、ガラス基板101上に形成された薄膜トランジスタ102に、バンプ105を介して貼り合わせる。その後、Si基板300をエッチングですべて除去する。

請求項（抜粋）：

耐熱性基板上に第1の電極薄膜層、圧電性を有する圧電薄膜層、および第2の電極薄膜層の順に積層する変形可能ミラー層形成工程と、前記第2の電極薄膜層および前記圧電薄膜層を、画素となる独立したミラー要素形状にエッチングする画素パターン形成工程と、前記画素に対応した能動素子の配列が形成されている能動素子基板において、前記能動素子毎に前記ミラー要素と電気的な接続をとるためのバンプを形成するバンプ形成工程と、各前記ミラー要素とそれに対応する各前記能動素子とを電気的に接続するために、前記バンプと前記第2の電極薄膜層が対向するように前記耐熱性基板と前記能動素子基板を貼り合わせる基板貼り合わせ工程と、前記耐熱性基板を、前記変形可能ミラー層を残して除去する基板除去工程と、を備えた変形可能ミラーデバイスの製造方法。