特許

J-GLOBAL ID：200903000971167160

光触媒、その製造方法及びその製造装置

発明者： 山下 信樹 ,  利根川 裕
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 奥山 尚男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-290637
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104798
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 可視領域においても安定に作用する高性能の光触媒を、非常に簡単で安価な装置を用いて、大面積に対しても低コストで製造することができる光触媒、その製造方法、及びその製造装置を提供する。【解決手段】 真空中に、膜材料となる酸化チタンと微量のCr、V、Fe又はNiとを含むターゲット3を有するスパッタ源2を設け、放電ガスであるアルゴン及び酸素を導入して、該ターゲット3に電力を印加して放電を発生させることによって、該ターゲット3表面よりスパッタ粒子を放出させて、基板10に光触媒膜14を堆積させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空中に、光触媒膜の材料となる酸化チタンと微量のCr、V、Fe又はNiとを含むターゲットを有するスパッタ源を設け、放電ガスであるアルゴン及び酸素を導入して、該ターゲットに電力を印加して放電を発生させることによって、該ターゲット表面よりスパッタ粒子を放出させて、基板に光触媒膜を堆積させることを特徴とする光触媒の製造方法。

IPC (8件)：

B01J 35/02 ,  B01D 53/86 ,  B01J 23/22 ,  B01J 23/26 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/755 ,  B01J 37/02 301 ,  C23C 14/34

FI (9件)：

B01J 35/02 J ,  B01J 23/22 A ,  B01J 23/26 A ,  B01J 37/02 301 P ,  C23C 14/34 A ,  B01D 53/36 J ,  B01D 53/36 C ,  B01J 23/74 301 A ,  B01J 23/74 321 A

Fターム (49件)：

4D048AB01 ,  4D048AB03 ,  4D048BA07X ,  4D048BA23Y ,  4D048BA25X ,  4D048BA36Y ,  4D048BA38Y ,  4D048BA41X ,  4D048BA42X ,  4D048EA01 ,  4G069AA08 ,  4G069AA09 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB06A ,  4G069BB06B ,  4G069BC54A ,  4G069BC58A ,  4G069BC58B ,  4G069BC66A ,  4G069BC68A ,  4G069CA02 ,  4G069CA03 ,  4G069CA07 ,  4G069CA10 ,  4G069DA06 ,  4G069EA11 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4G069FB79 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BA50 ,  4K029BB01 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  4K029DB18 ,  4K029DC05 ,  4K029DC12 ,  4K029DC35 ,  4K029DC41