特許
J-GLOBAL ID:200903000975487380

金属膜体の製造方法及び製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宇高 克己
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-141471
公開番号(公開出願番号):特開平8-003746
出願日: 1994年06月23日
公開日(公表日): 1996年01月09日
要約:
【要約】【目的】 酷いカールを改善でき、ヘッドとの当たりが良い金属膜体の製造技術を提供することである。【構成】 支持体上に金属膜が設けられてなる金属膜体の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成膜工程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する工程とを具備する金属膜体の製造方法。
請求項(抜粋):
支持体上に金属膜が設けられてなる金属膜体の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成膜工程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する工程とを具備することを特徴とする金属膜体の製造方法。
IPC (3件):
C23C 14/58 ,  C23C 14/56 ,  G11B 5/85

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