特許

J-GLOBAL ID：200903000976922030

周期パターン中の欠陥検出方法及び装置

発明者： 岡本 隆之 ,  山口 一郎
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258276
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 コンピュータ処理による複雑な画像処理を用いることなく、周期パターン中の欠陥を光学的に検出することができ、かつ非線形光学素子の応答速度による影響が少なく、実質的に実時間(リアルタイム)に欠陥の検出ができる、周期パターン中の欠陥検出方法及び装置を提供する。【解決手段】 光誘起異方性を有する非線形光学素子11に第1直線偏光(書込光12)を照射して異方性を誘起し、同時に、書込光と45°異なる偏光面を有する第2直線偏光(読出光14)の被験パターン1の通過光を光学的にフーリエ変換して素子11に照射し、この素子の透過光又は反射光16を楕円偏光に変換させ、この光の逆フーリエ変換像17から読出光14の偏光面に直交する成分(検出光18)を分離して結像させる。読出光14の強度を周期パターン中の欠陥成分のみが最も強く結像されるように設定して、欠陥成分のみを検出光18として撮像する。

請求項（抜粋）：

光誘起異方性を有する非線形光学素子に第1の直線偏光を照射して偏光方向に一致した分極軸を有する分子を選択的に励起し、同時に、第1直線偏光と異なる偏光方向を有する第2の直線偏光を、周期パターンを有する被験パターンに照射し、その通過光または反射光を光学的にフーリエ変換して前記非線形光学素子に照射し、該非線形光学素子によりその透過光の一部を楕円偏光に変換させ、非線形光学素子の透過光を光学的に逆フーリエ変換し、該逆フーリエ変換像から第2直線偏光の偏光方向に直交する成分を分離して結像させ、前記第2直線偏光の強度を周期パターン中の欠陥成分のみが最も強く結像されるように設定する、ことを特徴とする周期パターン中の欠陥検出方法。

IPC (6件)：

G02F 1/35 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G02F 1/35 ,  G01B 11/30 C ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V