特許

J-GLOBAL ID：200903000982351273

静電容量型圧力センサ

発明者： 佐藤 正博
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-178074
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005189
出願日： 1995年06月20日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 リード端子間に発生する静電容量を減少させて、良好な直線性を示す出力特性を有する静電容量型圧力センサを供する。【構成】 センサチップ30に出力端子を接続するリード端子62および61間に溝71を形成して、この部分の高誘電率材であるモールド樹脂を除去する。

請求項（抜粋）：

電極部が形成された第1の基板と、圧力に応じて変化するダイアフラム部が形成された第2の基板とからなり、前記ダイアフラム部と前記電極部とが互いに対向してギャップを形成するように構成されたセンサチップを具備する静電容量型圧力センサにおいて、前記第1の基板と第2の基板とに接続して固定されたそれぞれのリード端子の間に、溝を形成したことを特徴とする静電容量型圧力センサ。