特許
J-GLOBAL ID：200903000984318974
2次回折用ゾーンプレート及び軟X線顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266869
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120597
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 対物ゾーンプレートの有する分解能を十分に引き出すことができる集光用ゾーンプレートして、又は、大きい開口数の集光用光学素子に対応した高分解能を有する対物ゾーンプレートとして、用いることができるゾーンプレートと、それを用いた軟X線顕微鏡を提供する。【構成】 中央の円と、その周辺に交互に隣接して同心円状に形成した透過輪帯及び遮光輪帯の複数の対とからなるパターンを設けた薄板又は薄膜を少なくとも有するゾーンプレートにおいて、前記隣接する透過輪帯2及び遮光輪帯1について、遮光輪帯1の幅と透明輪帯2の幅の比を略1/3又は略3にして、2次回折光を主回折光としたことを特徴とするゾーンプレート。
請求項（抜粋）：
中央の円と、その周辺に交互に隣接して同心円状に形成した透過輪帯及び遮光輪帯の複数の対とからなるパターンを設けた薄板又は薄膜を少なくとも有するゾーンプレートにおいて、前記隣接する透過輪帯及び遮光輪帯について、遮光輪帯の幅と透明輪帯の幅の比を略1/3又は略3にして、2次回折光を主回折光としたことを特徴とするゾーンプレート。
IPC (2件)：
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