銅および銅合金の表面処理剤

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102763
公開番号（公開出願番号）：特開2000-297387
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】銅張り基板等の製造に有用な銅または銅合金の表面処理剤を提供する。【解決手段】過酸化水素1〜5重量%、硫酸3〜15重量%、5-アミノ-1H-テトラゾ-ル0.01〜1重量%およびフェニル尿素0.005〜0.5重量%を含有する水溶液からなる銅および銅合金の表面処理剤。

請求項（抜粋）：

過酸化水素1〜5重量%、硫酸3〜15重量%、5-アミノ-1H-テトラゾ-ル0.01〜1重量%およびフェニル尿素0.005〜0.5重量%を含有する水溶液からなる銅および銅合金の表面処理剤。

IPC (2件)：

C23F 1/18 , C09K 13/06

FI (2件)：

C23F 1/18 , C09K 13/06

Fターム (8件)：

4K057WA05 , 4K057WA07 , 4K057WB04 , 4K057WE03 , 4K057WE25 , 4K057WE30 , 4K057WG03 , 4K057WN01

引用特許：

出願人引用 (7件)

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審査官引用 (7件)

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