特許

J-GLOBAL ID：200903001000730221

位置決めテーブル装置

発明者： 片平 雅幸
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-077675
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283510
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 バキューム方式のような配管系を用いることなくクリーン化を実現できる手段を備えた位置決めテーブル装置を提供する。【構成】 基台側に設けられた直進案内手段に支承され、送りネジによって軸方向へ移動自在に構成されたテーブル2を本体内に備えてなる位置決めテーブル装置1において、前記本体の適所に、平行板コンデンサD,K,Qからなる静電吸着手段を、絶縁体Zを介して設け、静電吸着作用によりダストを捕獲できるようにした。

請求項（抜粋）：

基台側に設けられた直進案内手段に支承され、送りネジによって軸方向へ移動自在に構成されたテーブルを本体内に備えてなる位置決めテーブル装置において、前記本体の適所に、平行板コンデンサからなる静電吸着手段を、絶縁体を介して設けたことを特徴とする位置決めテーブル装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-024345
  
• 特開昭55-032840
  
• 特開平4-024345