特許

J-GLOBAL ID：200903001001365527

超音波センサの焦点調整方法及び装置

発明者： 中曽 教尊 ,  大平 克己
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026833
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242085
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】超音波スペクトラム顕微鏡の超音波センサの焦点を垂直方向に沿って自動的に調整する装置を提供する。【構成】超音波センサ12は、平面トランスデューサ12と凹面トランスデューサ14とを有する送受独立型センサである。超音波センサ12と被検体24の表面24aとの間の垂直距離ΔZは、Δz={(P fref(f)-P f (f))/f} ・{(V 0 ・cos θ)/2 π(1+ cos2θ)}(f:周波数、Pfref(f) :超音波センサの焦点が被検体表面に位置する際の基準位相曲線、Pf (f) :超音波センサの焦点が任意の位置にある際の位相曲線、V 0 :超音波センサと被検体との間の超音波伝播媒体中の音速、θ:平面トランスデューサと被検体表面との間に定義される入射角)に従う。FFT演算装置34は、超音波センサ12の出力からデジタルオシロスコープ32を通じてΔZを計算する。

請求項１：

第1と第2の超音波トランスデューサを含み、その少なくとも一方が被検体の表面に対面する平面を有してなり、超音波を送信及び受信する超音波センサの焦点と被検体の表面との間の垂直距離を調整する方法であって、(a) 超音波センサの第1の超音波トランスデューサから被検体表面へ超音波を送信する行程と、(b) 超音波センサの第2の超音波トランスデューサにより被検体表面からの反射超音波を受信する行程と、(c) 第2の超音波トランスデューサにより受信された反射超音波の周波数fと位相との関係を求める行程と、(d) 求められた関係と、超音波センサの焦点が被検体表面に位置する際の反射超音波の周波数fと位相との予め与えられた関係とに基づいて、超音波センサの焦点位置と被検体表面との間の垂直距離Δzを測定する行程と、(e) 測定された垂直距離Δzに基づいて、超音波センサの焦点が被検体表面に位置するように、超音波センサを被検体表面に対して相対的に垂直移動させる行程と、を備える超音波センサの焦点調整方法。