特許
J-GLOBAL ID：200903001003012486
薬液精製用吸着剤およびその調製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008740
公開番号（公開出願番号）：特開平6-233930
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】フッ酸含有薬液の精製に用いて半導体装置の製造プロセスで使用できる高純度レベルの精製が可能となる吸着剤を提供する。【構成】マグネチックスターラー1上の反応容器2に析出させる金属(金または銀)を含有する希フッ酸溶液3を入れ、この溶液にシリコン粒子4を添加し、攪拌子5で所定時間攪拌して金属を析出させた後、純水で十分に水洗して調製する。
請求項（抜粋）：
シリコン粒子と該シリコン粒子の表面に部分的に析出されイオン化傾向がシリコンより小さな金属とを含むことを特徴とする薬液精製用吸着剤。
IPC (3件)：
B01J 20/02
, H01L 21/304 341
, H01L 21/308
