特許
J-GLOBAL ID：200903001005068659

グリーンシート用セラミック粉末及び低温焼成多層セラミック基板

発明者：
山田 朗

山田 朗 について

, 
野崎 歩

野崎 歩 について

, 
斎藤 清

斎藤 清 について

, 
反田 哲史

反田 哲史 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (6件)： 曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順 ,  大宅 一宏 ,  上田 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-057743
公開番号（公開出願番号）：特開2009-215089
出願日： 2008年03月07日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：
【課題】750〜850°Cでの低温焼成が可能なグリーンシートを与え、銀系導体ペーストと同時焼成した際に、微細且つ良好な配線パターンを有する配線層の形成が可能で反りや欠陥の発生が少なく、耐メッキ性及び高周波帯での誘電特性に優れたセラミック層を与えるグリーンシート用セラミック粉末を提供する。【解決手段】ガラス粉末と無機フィラーとを含有し、ガラス粉末が35〜40重量%のSiO2、9〜17重量%のAl2O3、21〜40重量%のB2O3、10〜20重量%のR’O(R’はCa、Mg及びBaからなる群より選択される元素であって、Caを必ず含む少なくとも1種の元素)、0.2〜2.0重量%のMO2(MはZr及びTiからなる群より選択される少なくとも1種の元素)、2〜10重量%のZnO、0.2〜3.0重量%のWO3を含み、全体で100重量%となり、Al2O3/CaOが3.0以上であるグリーンシート用セラミック粉末とする。【選択図】なし
請求項１：
ガラス粉末と無機フィラーとを含有するグリーンシート用セラミック粉末であって、 前記ガラス粉末が、酸化物基準で表記した場合に、35重量%以上40重量%以下のSiO2、9重量%以上17重量%以下のAl2O3、21重量%以上40重量%以下のB2O3、10重量%以上20重量%以下のR’O(ただし、R’は、Ca、Mg及びBaからなる群より選択される元素であって、Caを必ず含む少なくとも1種の元素である)、0.2重量%以上2.0重量%以下のMO2(ただし、MはZr及びTiからなる群より選択される少なくとも1種の元素である)、2重量%以上10重量%以下のZnOと、0.2重量%以上3.0重量%以下のWO3を含み、全体で100重量%となり、且つCaOに対するAl2O3の重量比(Al2O3/CaO)が3.0以上であることを特徴とするグリーンシート用セラミック粉末。
IPC (4件)：
C04B 35/16 ,  C03C 8/12 ,  H05K 3/46 ,  H01L 23/13
FI (5件)：
C04B35/16 Z ,  C03C8/12 ,  H05K3/46 H ,  H05K3/46 T ,  H01L23/12 C
Fターム (131件)：
4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA10 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA24 ,  4G030AA31 ,  4G030AA32 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA50 ,  4G030AA52 ,  4G030BA09 ,  4G030BA33 ,  4G030CA08 ,  4G030GA01 ,  4G030GA03 ,  4G030GA04 ,  4G030GA09 ,  4G030GA11 ,  4G030GA15 ,  4G030GA16 ,  4G030GA17 ,  4G030GA20 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4G062AA10 ,  4G062BB01 ,  4G062DA05 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC04 ,  4G062DC05 ,  4G062DD01 ,  4G062DE03 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062ED04 ,  4G062EE02 ,  4G062EE03 ,  4G062EE04 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062EG04 ,  4G062FA01 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH08 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM27 ,  4G062NN26 ,  4G062NN32 ,  4G062NN34 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346CC18 ,  5E346CC39 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346FF01 ,  5E346FF18 ,  5E346GG04 ,  5E346GG05 ,  5E346GG06 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH06 ,  5G303AA05 ,  5G303AB20 ,  5G303BA02 ,  5G303CA01 ,  5G303CA02 ,  5G303CB01 ,  5G303CB02 ,  5G303CB03 ,  5G303CB06 ,  5G303CB11 ,  5G303CB16 ,  5G303CB17 ,  5G303CB30 ,  5G303CB35 ,  5G303CB37 ,  5G303CB38 ,  5G303CB39 ,  5G303DA05
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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