サブミクロン精度のエッジ検出器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233200
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075111
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】サブミクロンの精度で物体のエッジ位置を検出することが可能な手段を提供する。【解決手段】サブミクロン精度を有するエッジ検出器を開示する。エッジ検出器は、2つのシングルモード光ファイバ(102,110)から構成され、それらのファイバの間に光路が存在する。一方のファイバ(102)は、レーザー光源(108)に結合されて、光ビームを生成する。他方のファイバ(110)は、光パワー検出器(116)に結合される。光パワー検出器(116)に到達する光パワーは、どの程度の光ビームが物体によって遮られるかにより決まる。従って、物体のエッジの位置を、光パワー検出器によって計測された光パワーから求めることができる。物体のエッジを、光パワー検出器によって計測された光パワーに従って自動的に位置決めすることができる。

請求項（抜粋）：

物体のエッジを検出するためのエッジ検出器において、受光端と送光端を備えた第1の光ファイバー(102)であって、受光端でレーザー光を受光し、送光端で光ビームを生成するよう構成された、第1の光ファイバーと、受光端が光ビームを受光して送光端へ光を送るように配置された、受光端と送光端を備えた第2の光ファイバー(110)と、前記第2の光ファイバーの送光端に光学的に結合され、該第2の光ファイバーを介して伝送された光の光パワーを示す出力を有する光パワー検出器(116)を備え、前記物体が光ビームを少なくとも一部遮蔽して、前記光検出器の出力における変化を引き起こしたときに、前記物体のエッジを検出することからなる、エッジ検出器。

Fターム (27件)：

2F065AA12 , 2F065CC21 , 2F065CC25 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065EE00 , 2F065FF02 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065GG22 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ18 , 2F065LL02 , 2F065NN17 , 2F065NN20 , 2F065PP01 , 2F065PP12 , 2F065QQ13 , 2F065QQ17 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065TT02

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