特許
J-GLOBAL ID：200903001008530612

多層配線の作製方法及び多層配線並びに薄膜トランジスタ、アクティブマトリックス駆動回路及びフラットパネルディスプレイ

発明者：
村上 明繁

村上 明繁 について

, 
荒海 麻由佳

荒海 麻由佳 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-337267
公開番号（公開出願番号）：特開2008-153289
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：
【課題】上下電極を接続できる微細なビアポストを作製でき、アクティブマトリックス駆動回路やフラットパネルディスプレイに応用した場合、製造コストを低減できる多層配線の作製方法を提供する。【解決手段】第1の金属電極上に第1の導電性バンプを形成する工程と、第1の高分子樹脂からなる絶縁膜で、前記第1の導電性バンプを被覆する工程と、前記第1の導電性バンプ頭部の絶縁膜上に、導電フィラー、第2の高分子樹脂、有機溶媒から構成される第2の導電性バンプを印刷する工程と、前記第2の導電性バンプの有機溶媒を蒸発させる工程とを有し、前記第2の導電性バンプの有機溶媒を蒸発させる工程では、有機溶媒が前記第1の高分子樹脂を溶解して前記第1の導電性バンプと前記第2の導電性バンプとを接続することにより上記課題を解決する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
第1の金属電極上に第1の導電性バンプを形成する工程と、 第1の高分子樹脂からなる絶縁膜で、前記第1の導電性バンプを被覆する工程と、 前記第1の導電性バンプ頭部の絶縁膜上に、導電フィラー、第2の高分子樹脂、有機溶媒から構成される第2の導電性バンプを印刷する工程と、 前記第2の導電性バンプの有機溶媒を蒸発させる工程と を有し、 前記第2の導電性バンプの有機溶媒を蒸発させる工程では、有機溶媒が前記第1の高分子樹脂を溶解して前記第1の導電性バンプと前記第2の導電性バンプとを接続することを特徴とする多層配線の作製方法。
IPC (7件)：
H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/134 ,  G02F 1/136 ,  G09F 9/30
FI (8件)：
H01L21/90 B ,  H01L29/78 616S ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 619A ,  G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338
Fターム (68件)：
2H092GA48 ,  2H092GA57 ,  2H092HA20 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092KB04 ,  2H092KB06 ,  2H092MA12 ,  2H092MA31 ,  2H092MA35 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094DA11 ,  5C094DB01 ,  5C094DB03 ,  5C094DB04 ,  5C094EA10 ,  5F033HH08 ,  5F033HH14 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ14 ,  5F033KK14 ,  5F033NN19 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR21 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033WW04 ,  5F033XX03 ,  5F033XX34 ,  5F110AA03 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF27 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG05 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG42 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HL02 ,  5F110HL22 ,  5F110NN03 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110QQ06
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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