特許

J-GLOBAL ID：200903001008680410

高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

発明者： 畠山 潤 ,  原田 裕次 ,  河合 義夫 ,  笹子 勝 ,  遠藤 政孝 ,  岸村 眞治 ,  前田 一彦 ,  大谷 充孝 ,  小森谷 治彦
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社 ,  松下電器産業株式会社 ,  セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-393354
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192735
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【解決手段】 繰り返し単位(1m)、(1n)、(1p)を含む高分子化合物。【化1】(R1、R2はH、F、アルキル基又はフッ素化アルキル基、R3はF又はフッ素化アルキル基、R4は酸不安定基、R5a、R5b、R6a及びR6bはH、OH、アルキル基又はフッ素化アルキル基、(CH2)dCO2R7又は(CH2)dC(R8)2(OR7)、R7は酸不安定基、密着性基、水素原子又はアルキル基又はフッ素化アルキル基、R8はH、F、アルキル基又はフッ素化アルキル基、0≦m<1、0 請求項（抜粋）：

下記繰り返し単位(1m)、(1n)、(1p)を含むことを特徴とする高分子化合物。【化1】(式中、R1、R2は同一又は異種の水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R3は同一又は異種のフッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のフッ素化されたアルキル基であり、R4は酸不安定基である。R5a、R5b、R6a及びR6bは水素原子、水酸基、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基、(CH2)dCO2R7、又は(CH2)dC(R8)2(OR7)である。R7は酸不安定基、密着性基、水素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。また、R5a、R5b、R6a及びR6bはこれらの2つが結合して環を形成していてもよい。環を形成する場合、R5a、R5b、R6a、R6bは、酸素原子又はエステル基を含んでもよい炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキレン基又はフッ素化アルキレン基である。R8は水素原子、フッ素原子、同一又は異種の炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基であり、少なくとも1個以上のフッ素原子を含む。0≦m<1、0 IPC (6件)：

C08F220/18 ,  C08F216/02 ,  C08F232/08 ,  C08F234/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

C08F220/18 ,  C08F216/02 ,  C08F232/08 ,  C08F234/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (82件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB07 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AD02P ,  4J100AD03P ,  4J100AD04P ,  4J100AD07P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL16Q ,  4J100AL21Q ,  4J100AL26Q ,  4J100AR09R ,  4J100AR11R ,  4J100AR31R ,  4J100AR32R ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA06Q ,  4J100BA06R ,  4J100BA11R ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16R ,  4J100BA20Q ,  4J100BA20R ,  4J100BA29Q ,  4J100BA29R ,  4J100BA30Q ,  4J100BA30R ,  4J100BA31Q ,  4J100BA31R ,  4J100BA51Q ,  4J100BA51R ,  4J100BA55Q ,  4J100BA55R ,  4J100BB07P ,  4J100BB07R ,  4J100BB12R ,  4J100BB18R ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07R ,  4J100BC08Q ,  4J100BC08R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC22Q ,  4J100BC22R ,  4J100BC23Q ,  4J100BC23R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC45Q ,  4J100BC45R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC83Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38