特許
J-GLOBAL ID：200903001009206193
基板配列ピッチ変換装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323037
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183357
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で製造も容易な基板ピッチ変換装置を得る。【構成】 この装置は、基板の配列ピッチを変換するための装置であり、複数の基板保持部材40と複数の進入部材41とシリンダ49と移動手段43とを有している。複数の基板保持部材40は、それぞれ上部に基板Wを保持可能な保持溝40aを有し、基板の配列方向に移動自在である。複数の進入部材41は、それぞれ隣接する基板保持部材40間に進入可能である。シリンダ49は、複数の進入部材41を基板保持部材40の間に進入させるとともに基板保持部材40の間から引き出すための手段である。移動手段43は、複数の基板保持部材40を互いに近接する方向に移動させる。
請求項１：
基板の配列ピッチを変換するための基板配列ピッチ変化装置であって、それぞれ上部に基板を保持可能な基板保持溝を有し、基板の配列方向に移動自在な複数の基板保持部材と、それぞれ隣接する前記基板保持部材間に進入可能な複数の進入部材と、前記複数の進入部材を前記基板保持部材間に進入させるとともに前記基板保持部材間から引き出すための進入部材駆動手段と、前記複数の基板保持部材を互いに近接する方向に移動させる移動手段と、を備えた基板配列ピッチ変換装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 535
, B65G 49/07
