特許

J-GLOBAL ID：200903001015607035

走査型プローブ顕微鏡を用いた情報処理装置、情報処理方法及び面合わせ方法

発明者： 松田 宏 ,  河出 一佐哲 ,  柳沢 芳浩 ,  武田 俊彦 ,  江口 健 ,  多川 昌宏 ,  宮崎 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201151
公開番号（公開出願番号）：特開平5-028545
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 SXMを利用した複数の探針を有する情報処理装置において情報処理精度を高めるために、各探針の走査面と試料面とをできる限り平行にするように制御する機構を有する情報処理装置。【構成】 SXMを利用した情報処理装置において、少なくとも2本以上の複数の探針と、記録媒体を載せるための試料台と、探針及び/又は試料台を駆動するための駆動機構と、かかる試料台面を傾斜せしめるX-Y軸傾斜機構と、検出された表面状態または記録情報に対応する信号成分のうち任意の空間周波数を有する信号成分の振幅を検出する振幅検出回路と、検出された振幅が0若しくは出来る限り小さな値になるようにX-Y軸傾斜機構を制御するフィードバック回路と、探針と記録媒体表面との距離を探針各々について独立に調整できる距離調整機構とを少なくとも具備した情報処理装置。

請求項（抜粋）：

探針と試料間との距離に依存する各種の相互作用を検出しながら、探針を試料上相対的に走査せしめて該試料の表面状態を測定する走査型プローブ顕微鏡技術を利用した情報処理装置において、少なくとも2本以上の複数の探針と、記録媒体を載せるための試料台と、上記探針を試料上相対的に走査させるために、探針自体が駆動できるか、若しくは試料台が駆動できるか、若しくは探針と試料台の何れもが互いに平行かつ独立に駆動できる駆動機構と、かかる試料台面を傾斜せしめるX-Y軸傾斜機構と、検出された表面状態または記録情報に対応する信号成分のうち任意の空間周波数を有する信号成分の振幅を検出する振幅検出回路と、検出された振幅が0若しくは出来る限り小さな値になるようにX-Y軸傾斜機構を制御するフィードバック回路と、探針と記録媒体表面との距離を探針各々について独立に調整できる距離調整機構とを少なくとも具備したことを特徴とする情報処理装置。