特許
J-GLOBAL ID：200903001016058639

反射光学系、照明光学装置及び露光装置

発明者：
白石 雅之

白石 雅之 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-203876
公開番号（公開出願番号）：特開2007-027226
出願日： 2005年07月13日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 極短紫外光の偏光特性バランスの悪化及び光量の損失を抑制しつつ、極短紫外光を所望の角度に折り曲げることができる反射光学系を提供する。【解決手段】 極短紫外光の進行方向を所定の角度に折り曲げる反射光学系4において、前記極短紫外光を所定の角度で入射させる第1の多層膜ミラー4aと、前記第1の多層膜ミラー4aにより反射された前記極短紫外光を所定の角度で入射させる第2の多層膜ミラー4bとを備え、前記第1の多層膜ミラー4aに入射する前記極短紫外光の進行方向と、前記第2の多層膜ミラー4bにより反射された前記極短紫外光の進行方向とのなす角度θは、70°<θ<110°である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
極短紫外光の進行方向を所定の角度に折り曲げる反射光学系において、 前記極短紫外光を所定の角度で入射させる第1の多層膜ミラーと、 前記第1の多層膜ミラーにより反射された前記極短紫外光を所定の角度で入射させる第2の多層膜ミラーとを備え、 前記第1の多層膜ミラーに入射する前記極短紫外光の進行方向と、前記第2の多層膜ミラーにより反射された前記極短紫外光の進行方向とのなす角度θは、 70°< θ <110° であることを特徴とする反射光学系。
IPC (7件)：
H01L 21/027 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/24 ,  G02B 17/00 ,  G03F 7/20
FI (8件)：
H01L21/30 531A ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  G02B13/14 ,  G02B13/24 ,  G02B17/00 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 517
Fターム (20件)：
2H048FA05 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA03 ,  2H048GA18 ,  2H048GA23 ,  2H048GA61 ,  2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087TA01 ,  2H087TA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 国際公開第2004/090955号パンフレット
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM