特許
J-GLOBAL ID：200903001020590914
ガリウムイオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002082
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200558
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】フラッシング時のフィラメント電流または電圧、あるいは通電時間をガリウム残量に依って変化させる必要のないガリウムイオン源を提供する。【解決手段】針状電極とガリウムを貯蔵する貯蔵部とそれを加熱するヒータとからなるガリウムイオン源において、該針状電極、貯蔵部およびガリウムの熱容量の合計が0.015J/K以上0.1J/K以下であることを特徴とするガリウムイオン源であり、より具体的には、貯蔵部が金属製のワイヤを2重以上のコイル状に巻いた構造であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
針状電極と、ガリウムを貯蔵している貯蔵部と、針状電極と貯蔵部とを加熱するヒータとからなるガリウムイオン源において、前記針状電極、貯蔵部およびガリウムの熱容量の合計が0.015J/K以上0.1J/K以下であることを特徴とするガリウムイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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特開昭61-029041
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液体金属イオン源
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-241572
出願人：株式会社日立製作所
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特開昭58-040744
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