特許

J-GLOBAL ID：200903001021021697

耐プラズマ性に優れたアルミナセラミックス

発明者： 金丸 守賀 ,  永浜 睦久 ,  久本 淳 ,  野沢 俊久 ,  杉山 成正
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  神鋼コベルコツール株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023489
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279349
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 単結晶引き上げ法の様な特殊な方法ではなく一般的な焼結法を採用することを前提とし、半導体や液晶ディスプレイ等の製造プロセスにおいて優れた耐プラズマ性を発揮するアルミナセラミックスを提供する。【解決手段】 シリカガラスを含む粒界相を有するアルミナセラミックスであって、上記粒界相にアルミニウムを含有させる。本発明のアルミナセラミックスは、粒界相にシリカガラスを含むアルミナセラミックス材料を窒素中で焼結することにより得ることができ、この場合、上記粒界層にはアルミニウム及び窒素が含まれる。また耐プラズマ性を向上させる上では、アルミナ結晶の平均粒径を2μm以下とすることが望ましい。

請求項（抜粋）：

シリカガラスを含む粒界相を有するアルミナセラミックスであって、上記粒界相にアルミニウムが含有されていることを特徴とする耐プラズマ性に優れたアルミナセラミックス。

IPC (5件)：

C04B 35/10 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

C04B 35/10 Z ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B