特許

J-GLOBAL ID：200903001021242790

サーマルコーティング装置におけるコーティング工程の監視装置および方法

発明者： マティアス シュッツ
出願人/特許権者： ズルツァー メトコ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287381
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160223
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 サーマルコーティング装置によって基板に付けたコーティング膜の質に関する予測を与えることを可能にする。【解決手段】 コーティングジェットの流れ方向に対して斜めのコーティングジェットの断面に沿う所定の領域にあるコーティングジェットに乗って運ばれる加熱粒子によって放射された電磁放射線を個別に測定するための複数のセンサを含む構成およびまたは光学手を含む構成と、複数のセンサの出力と接続する電気回路を含む手段を備える。

請求項（抜粋）：

サーマルコーティング装置のコーティングジェットに乗って運ばれる多数の粒子によって放射される電磁放射線を測定する手段と、当該電磁放射線を測定する前記手段によって出された結果を評価する電気的手段とを含むサーマルコーティング装置において、電磁放射線を測定する前記手段は、コーティングジェットの流れ方向に対して斜めに伸延する断面に沿う所定の領域にある前記多数の粒子による放射を個別に測定する手段を含むことを特徴とするサーマルコーティング装置におけるコーティング工程の監視装置。

IPC (4件)：

G01N 15/10 ,  B23K 10/02 501 ,  C23C 4/00 ,  G01J 5/10

FI (4件)：

G01N 15/10 Z ,  B23K 10/02 501 Z ,  C23C 4/00 ,  G01J 5/10 D