特許

J-GLOBAL ID：200903001024294970

半導体検査装置

発明者： 古賀 泉 ,  小浦 勇
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264005
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091570
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】DUTの温度が期待値となるように制御することができる半導体検査装置を提供する。【解決手段】外部からの制御信号パターンに応じて自己発熱する発熱手段を備えたDUTと、このDUTの温度を直接監視するセンサと、このセンサの出力に基づき、前記DUTの温度が期待値に一致するような前記制御信号パターンを発生する手段を備え、DUTの温度が制御できるように構成する。

請求項（抜粋）：

外部からの制御信号パターンに応じて自己発熱する発熱手段を備えたDUTと、このDUTの温度を直接監視するセンサと、このセンサの出力に基づき、前記DUTの温度が期待値に一致するような前記制御信号パターンを発生する手段を備え、DUTの温度が制御できるように構成したことを特徴とする半導体検査装置。

Fターム (7件)：

2G003AA07 ,  2G003AB16 ,  2G003AC01 ,  2G003AD03 ,  2G003AD06 ,  2G003AH01 ,  2G003AH05