特許
J-GLOBAL ID：200903001024664980
冷陰極画像表示装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222771
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062620
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 半導体結晶でマトリクス状に陰極群が形成され、対向する陽極とで画素群が形成された冷陰極画像表示装置で、加工精度の向上および内部抵抗の低減を図って高特性、高信頼性にすると共に、製造作業を容易にして工数削減し、安価な冷陰極画像表示装置を提供する。【構成】 マトリクス状の各陰極群を、SOIとよばれる絶縁層上の単結晶シリコン基板に異方性エッチングにより形成して絶縁分離し、陽極を共通電極化して、シリコン基板と陽極を形成したガラス基板の位置合わせが不要で簡単に組み立てられる構造とした。
請求項（抜粋）：
絶縁層を中間に挟み、その両面に単結晶シリコンを持つ、いわゆる誘電体分離形シリコン基板の片側のシリコン層に異方性エッチングにより形成された針状陰極のマトリクスを有する冷陰極画像表示装置。
IPC (4件)：
H01J 31/12
, H01J 1/30
, H01J 29/46
, H01J 63/06
