特許

J-GLOBAL ID：200903001027361392

プラズマ計測用プローブ及びこれを用いたプラズマ計測方法

発明者： 佐野 直樹 ,  原 昌輝 ,  香野 淳 ,  関谷 光信 ,  鮫島 俊之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157438
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037817
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 比較的低励起状態のプラズマ雰囲気においても確実にプラズマ計測を行うことができるプローブを提供する。【構成】 プラズマ計測用のプローブの表面積を10-6m2 以上として構成する。

請求項（抜粋）：

表面積が10-5m2 以上とされたことを特徴とするプラズマ計測用プローブ。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66 ,  H05H 1/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-035724
  
• 特開昭54-135574
  
• 特開平2-298269
  
• 特開昭63-310965
  
• 高周波励起プラズマの計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-022106   出願人：大見忠弘