特許

J-GLOBAL ID：200903001029083276

動吸振器付き顕微鏡

発明者： 岡田 尚史
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051206
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、設置場所の制約を受けず、かつ装置の重力の増加を抑えて振動を制振する。【解決手段】アーム部3と観察光学系としての接眼鏡筒4、中間鏡筒5及びCCDカメラ6との間に動吸振器ユニット10を設け、アーム部3の振動を振動センサ15により検出し、制御装置16によりアーム部3の振動に応じて圧電型アクチュエータ13を駆動して動吸振器の錘20となる接眼鏡筒4、中間鏡筒5及びCCDカメラ6をZ方向に振動させ、その反力によりアーム部3の振動を制振する。

請求項（抜粋）：

試料を光学観察又は測定するための光学系の光軸方向の振動に応じてこの振動方向に変位可能な錘を備え、前記光軸方向の振動を減衰する手段を備えたことを特徴とする動吸振器付き顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/26 ,  G02B 21/22

FI (2件)：

G02B 21/26 ,  G02B 21/22

Fターム (4件)：

2H052AD02 ,  2H052AD10 ,  2H052AD26 ,  2H052AD37

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 能動型除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158542   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-250165
  
• 特開平3-250165