排ガス処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-152205
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340237
出願日： 2002年05月27日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、形態の異なる多系統の製造工程の排気ガスを、各製造工程に影響を与えず、安定的且つ効率的に処理を行うことが可能な排ガス処理装置を提供することにある。【解決手段】多系統の排気ガス用の複数の各々単一ダクト13を静圧センサー5が付帯されている集合チャンバー1に接続し、該集合チャンバー1と排気用送風機2とを集合ダクト9を介して接続し、更に該排気用送風機2と排ガス処理部3を接続し、該排ガス処理部3の排気側に排気塔4を設けてなる排ガス処理装置Aを提供することにある。

請求項（抜粋）：

多系統の排気ガス用の複数の各々単一ダクトを一つの集合チャンバーに接続し、該集合チャンバーと排ガス処理部を集合ダクトを介して接続し、更に該排ガス処理部の排気側に排気塔4を設けたことを特徴とする排ガス処理装置。

IPC (2件)：

B01D 53/44 , F24F 7/06 ZAB

FI (2件)：

F24F 7/06 ZAB L , B01D 53/34 117 Z

Fターム (10件)：

3L058BD00 , 3L058BE08 , 3L058BG03 , 3L058BG04 , 4D002AB03 , 4D002AC10 , 4D002GA02 , 4D002GA03 , 4D002GB04 , 4D002HA10

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