特許

J-GLOBAL ID：200903001040537289

欠陥修正方法および欠陥修正装置

発明者： 清水 茂夫 ,  山中 昭浩
出願人/特許権者： NTN株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-032580
公開番号（公開出願番号）：特開2003-230861
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】 塗布針の周面を利用して修正を行えるような欠陥修正方法および欠陥修正装置を提供する。【解決手段】 基板上のリブ101の電極オープン欠陥103を認識し、認識した欠陥部分に塗布針20の周面に付着したペースト30を側面から押し当てて塗布し、塗布したペースト30を硬化させることにより、基板上に形成されたリブ101の壁面に欠陥があっても安定してかつ効率的に修正することができる。

請求項（抜粋）：

基板上における厚み方向の欠陥部分を修正する欠陥修正方法であって、前記欠陥部分を認識するステップ、前記認識された欠陥部分に、塗布針の周面に付着した修正剤を側面から押し当てて塗布するステップ、および前記塗布した修正剤を硬化させるステップを含む、欠陥修正方法。

IPC (8件)：

B05C 9/12 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  B05D 7/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  H01J 9/50 ,  H01J 11/02

FI (9件)：

B05C 9/12 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 7/00 H ,  B05D 7/00 N ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  H01J 9/50 A ,  H01J 11/02 B

Fターム (47件)：

2H088FA14 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  4D075AC06 ,  4D075AC96 ,  4D075BB42Z ,  4D075BB48X ,  4D075CA47 ,  4D075DA23 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA14 ,  4D075EA21 ,  4D075EA45 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA02 ,  4F041BA23 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042BA15 ,  4F042CA01 ,  4F042CA04 ,  4F042CB03 ,  4F042CB24 ,  4F042DB41 ,  4F042DD16 ,  4F042DD17 ,  4F042DD45 ,  5C012AA09 ,  5C040FA10 ,  5C040GF19 ,  5C040JA26 ,  5C040JA31 ,  5C040KB24 ,  5C040MA23 ,  5G435AA17 ,  5G435AA19 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10