特許
J-GLOBAL ID:200903001042220924
半導体レーザアレイ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-245297
公開番号(公開出願番号):特開平6-097578
出願日: 1992年09月14日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 1回のリソグラフィ・プロセスで複数のレーザの発振波長を決定することができ、かつ高集積化した場合にも光ファイバとの結合が容易な多波長の半導体レーザアレイを提供すること。【構成】 面発光型の多波長半導体レーザアレイにおいて、半導体基板4上に分布反射膜(DBR)によって挟まれた活性層領域が形成され、これらが基板4に対して垂直に立つ柱状の形状をなす複数個に分割され、基板4に対して垂直方向に出力光を放出する複数の半導体レーザ1からなり、半導体レーザ1の柱状部分の断面積が互いに異なることを特徴とする。
請求項(抜粋):
基板上に上下2つの分布反射膜により挟まれ、それぞれ電気的に独立した半導体発光領域が複数個形成され、少なくとも上部の分布反射膜がそれぞれの発光領域毎に分割され、前記基板表面に対して方線方向に出力光を放出する複数の半導体レーザからなり、前記発光領域の前記基板と平行な面の断面積が前記半導体レーザ毎に異なることを特徴とする半導体レーザアレイ。
引用特許:
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